應用案例|激光位移傳感器LC-S700RR助力某半導體企業提升效率
發布時間:2025-06-13

項目挑戰:
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微米級精度需求: 檢測芯片堆疊(通常僅增加幾百微米高度)需要極高的測量精度。
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高速在線檢測: 生產線連續高速運行,要求傳感器響應速度快,不影響生產節拍。
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嚴苛生產環境: 需適應潔凈間環境及潛在的輕微震動干擾,保持穩定可靠。
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非接觸測量: 避免接觸脆弱的芯片表面,防止二次損傷或污染。
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可靠異常判定: 需精準區分單層芯片基準高度與堆疊異常高度。
解決方案
針對芯片堆疊檢測難題,高精度激光位移傳感器LC-S700RR憑借非接觸、高速、精準測量的核心優勢,提供高效可靠的解決方案,確保產線順暢與產品質量。

檢測原理與核心優勢:
精準捕捉高度異常: 芯片單層平鋪時,表面高度為預設基準值(載具高+芯片厚)。LC-S700RR通過激光反射精確測量實時高度。一旦檢測值顯著超出基準范圍(即發生堆疊),立即觸發異常信號。
非接觸高速測量: 激光測量方式完全避免接觸芯片,超快響應速度完美匹配高速產線,實現100%在線檢測。
超大范圍靈活輸出: 測量范圍高達700±500mm,輕松覆蓋寬軌道或大載具。提供開關量信號(NPN/PNP可切換)直接控制報警/停機,RS485通訊便于數據上傳與系統集成。
穩定可靠運行: 堅固設計適應半導體生產環境,確保長期穩定無故障運行。
典型應用:傳輸軌道實時堆疊監測
芯片在軌道傳輸中易因靜電或故障堆積堵塞。在軌道上方部署LC-S700RR,持續掃描截面高度。當傳感器檢測到局部區域高度異常升高(堆疊),即刻輸出信號報警,提示人員及時處理,有效預防斷線及芯片損壞。
激光位移傳感器LC-S700RR產品參數如下:

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測量范圍700±500mm;
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NPN/PNP可自由切換;
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具備RS485通訊協議;
可延展應用場景
精密部件厚度/高度分選與判別: 如模具、五金件種類識別或到位檢測。
大型卷材余量監控: 如新能源電池生產中卷繞機卷材直徑或薄膜余量精確測量。
平板玻璃/晶圓平整度檢測。
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